根據《大氣污染防治法》一百零八條，企業若存在“未在密閉空間或設備中進行含揮發性有機物廢氣的生產活動”“未按規定安裝、使用污染防治設施”或“未采取減少廢氣排放措施”等行為，將由生態環境主管部門責令改正，并處2萬元以上20萬元以下罰款；若拒不改正，可責令停產整治。例如，某企業因廢氣收集系統控制風速未達《揮發性有機物無組織排放控制標準》規定的0.3m/s，被處以7萬元罰款并限期整改。

若企業通過暗管、滲井等逃避監管方式違法排放污染物，處罰力度將卓著升級。根據《排污許可管理條例》第三十四條及《大氣污染防治法》第九十九條，此類行為可面臨20萬元至100萬元罰款，情節嚴重者將被吊銷排污許可證，甚至責令停業、關閉。同時，依據《環境保護法》第六十三條，直接負責的主管人員和其他責任人員可能被處以10日至15日拘留。

對于超過大氣污染物排放標準的企業，法律設定了更嚴厲的處罰框架。根據《大氣污染防治法》第九十九條，超標排放行為可被責令改正或限制生產、停產整治，并處10萬元至100萬元罰款；情節嚴重者需報經相關部門批準后停業、關閉。例如，某企業因廢氣中非甲烷總烴濃度超標，被處以30萬元罰款并限產30%。

此外，若企業未按照規定設置大氣污染物排放口（如排氣筒高度低于15米），同樣適用上述處罰條款。對于重點區域或敏感行業，監管部門還會實施排放濃度與去除效率“雙重控制”，要求初始排放速率≥3kg/h的企業治理設施去除效率不低于80%，否則將面臨更嚴格的處罰。

針對拒不整改或持續違法排放的企業，法律設計了“按日連續處罰”機制。根據《環境保護主管部門實施按日連續處罰辦法》，若企業被責令改正后仍超標排放，執法部門可自責令改正之日的次日起，按原處罰數額按日連續處罰。例如，某企業因廢氣處理設施故障導致持續超標，被按日計罰累計罰款超500萬元。

同時，生態環境主管部門有權對違法排放相關設備實施查封、扣押。根據《環境保護主管部門實施查封、扣押辦法》，通過暗管、篡改監測數據或不正常運行防治設施逃避監管的企業，其污染防治設施將被立即查封，直至違法行為整改完畢。

廢氣處理不僅需硬件達標，管理臺賬與監測數據真實性同樣關鍵。根據《排污許可管理條例》第三十七條，未建立環境管理臺賬或未按規定記錄污染防治設施運行參數的企業，將被處5千元至2萬元罰款。若企業通過偽造監測數據逃避監管，則同時觸犯《大氣污染防治法》第九十九條與《環境保護法》第六十三條，面臨罰款、停產整治及行政拘留的疊加處罰。

不同行業因工藝差異，廢氣排放標準與處罰細則存在針對性。例如，表面涂裝行業需執行《揮發性有機物無組織排放控制標準》，要求廠區內非甲烷總烴小時平均濃度不超過6mg/m3；化工行業則需符合《石化企業泄漏檢測與修復工作指南》，對設備密封點泄漏值實施500μmol/mol的嚴格管控。若企業未達行業特定標準，將依據上述通用條款與行業規范雙重追責。

工廠廢氣處理達標是法律強制要求，更是企業社會責任的體現。從行政處罰到刑事追責，從經濟罰款到生產限制，我國環境法律體系已構建起“全鏈條、零容忍”的監管框架。企業唯有通過技術升級、管理優化與合規運營，才能避免法律風險，實現可持續發展。